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  • TFE-1200-50-220單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

    單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能; 與傳統(tǒng)CVD相比較.生長(zhǎng)溫度更低

    更新日期:2024-07-29
    型號(hào):TFE-1200-50-220
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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